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        3. 位置:首頁 > 技術與裝備 > 承擔項目
          • 十二五國家02科技重大專項

            “45-28nm配線用超高純系列濺射靶材的開發與產業化”項目,列入國家科技部極大規模集成電路配套設備與工藝重大專項(02重大專項)。

            更多 2015-02-05

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